作者：于连忠,鲍敏杭 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1990年第04期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1990040000 DOC编号：DOCCGJS1990040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文对方膜的硅压力传感器结构进行了应力非线性的计算分析，得出了应力-压力关系非线性与压力量程、膜的几何参数以及器件位置的关系，并给出了实现线性最佳化设计的结果.实验与理论结果的比较表明：(1)压阻效应非线性很小，压力传感器的非线性主要决定于应力非线性；(2)方膜边缘的四端力敏电阻设计不仅灵敏度高，而且有较好的线性；(3)进一步改进压力传感器精度的方法是选用应力线性优良的结构。

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