《芯片自恒温集成FET气敏传感器简介》PDF+DOC
作者:丁辛芳,金恒,俞海明
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1992年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1992020020
DOC编号:DOCCGJS1992020029
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,金恒
,俞海明
,张明
,刘方悟
,刘桂华
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本文简介了Pd栅MOS气敏传感器的敏感机理.以N阱双极/MOS兼容工艺,将传感器的CO或H_2气敏单元、气敏补偿单元、加热电阻、温敏单元单片集成,制作了可调高温的具有高稳定输出的芯片自恒温系统.测试结果表明,该气敏传感器具有良好的选择性、稳定性和校高的灵敏度。
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