作者:丁辛芳,金恒,俞海明 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》1992年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS1992020020 DOC编号:DOCCGJS1992020029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《CO/H_2集成FET型气敏传感器的研究》PDF+DOC1991年第03期 丁辛芳 ,金恒 ,俞海明 ,张明 ,刘方悟 ,刘桂华 《丙酮气敏传感器研究进展》PDF+DOC2017年第S1期 林毓韬,张谨,邓宇翔,张裕敏 《CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究》PDF+DOC2000年第04期 胡英,周晓华,魏红军 《CuO-SnO_2半导体陶瓷气敏机理研究》PDF+DOC1995年第01期 周晓华,徐毓龙,曹全喜 《ZnO系半导体陶瓷气敏传感器的进展》PDF+DOC1991年第03期 娄向东,沈荷生,沈瑜生 《用气相反应法制备纳米WO_3气敏材料》PDF+DOC2005年第02期 余华梁,黄世震,林伟,陈伟 《氧化物半导体丙酮气敏传感器材料研究与应用》PDF+DOC2004年第08期 古彦飞,季惠明,张颖 《Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能》PDF+DOC2002年第01期 高晓光,李建平,何秀丽,于中尧,王利 《CuO-ZnO敏感材料气敏机理的研究》PDF+DOC2001年第02期 胡英,周晓华 《电阻式半导体气体传感器》PDF+DOC2006年第07期 张强,管自生
  • 本文简介了Pd栅MOS气敏传感器的敏感机理.以N阱双极/MOS兼容工艺,将传感器的CO或H_2气敏单元、气敏补偿单元、加热电阻、温敏单元单片集成,制作了可调高温的具有高稳定输出的芯片自恒温系统.测试结果表明,该气敏传感器具有良好的选择性、稳定性和校高的灵敏度。

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