《气体传感器中的厚薄膜技术》PDF+DOC

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2. 《半导体气体传感器新近发展动态》PDF+DOC 本文简要介绍了国内外半导体气体传感器的生产情况，评述了半导体气体传感器目前发展动向。认为超微粒技术、L-B 膜技术对促进气敏技术很有意义。本文还强调气敏基础研究的重要性，提出从表面和催化伪度出发研究气敏材料是有意义的，并讨论了催化和气敏的关系。...
3. 《SnO_2超微粒薄膜的制备及气敏性研究》PDF+DOC 通过研制的磁控溅射系统，采用射频磁控溅射法，对 S_nO_2超微粒半导体气敏膜的制备进行了研究，同时对制备的薄膜的气敏性进行了测量分析。扫描电镜分析表明：当溅射气压 P_(Ar)=1.20～2.67Pa 时，就能制得超微粒半导体气敏膜。对 C_2H_5OH 的气敏性研究表明，制备的超微粒膜比普通连续......
4. 《EDTA溶胶-凝胶法制备纳米ZnFe_2O_4气敏材料》PDF+DOC 用EDTA溶胶-凝胶法，以氧化锌和硫酸铁为主要原料制备纳米级ZnFe2O4粉末。通过DTA、XRD、SEM等手段对纳米粒子及中间体进行了表征，其结果表明，在800℃焙烧2h即可制得粒度均匀、晶型完整的纳米ZnFe2O4晶体。以ZnFe2O4纳米粉为气敏材料制备了厚膜气体传感器，测试了元件的气敏性能，......
5. 《薄膜与新型固体电解质传感器》PDF+DOC 本文介绍了固体电解质四型气体传感器的原理和特点，评述了薄膜和厚膜固体电解质材料及传感器件的发展现状，并且认为四型双固体电解质传感器因其无参比电极，不需密封最有希望发展为薄膜化的微型复合传感器。...
6. 《酞菁铜LB膜的制备及特性》PDF+DOC 以一种可溶性对称取代酞菁铜（（ｉ－ ＰｒＯ）４ＣｕＰｃ） 为原料，利用ＬＢ（Ｌａｎｇｍｕｉｒ－ Ｂｌｏｄｇｅｔｔ） 超分子膜技术，制备了不同层数的（ｉ－ ＰｒＯ）４ＣｕＰｃ ＬＢ膜，对其进行了紫外－ 可见光光谱分析研究，并对不同层数的（ｉ－ ＰｒＯ）４ＣｕＰｃ ＬＢ膜的二氧化氮（ＮＯ２）...
7. 《集成气体传感器的进展》PDF+DOC 本文综述了集成气体传感器的发展过程和工作机理，讨论了Schottky气敏二极管、MOS气敏二极管、MOS气敏场效应管、厚膜(或薄膜)集成气体传感器和集成气体传感器阵列。...
8. 《气体敏感化学传感器的新进展》PDF+DOC 本文评论了气敏化学传感器的新进展；介绍了几种多功能化学传感器的原理，结构和应用，显示了化学传感器的最新成就。超微粒多功能集成化传感器的发展使化学传感器向多功能化和智能化迈出了重要的一步.它能同时测定气体浓度，湿度和温度。由于使用了超微粒子膜，大大降低了气体传感器的工作温度，为集成气体敏感器创造了必要......
9. 《厚膜气体传感器的研究》PDF+DOC 本文报导采用典型的微电子学工艺一丝网漏印法制备以SnO_2为基的厚膜气体传感器。研究了不同掺杂剂和玻璃料对厚膜气敏材料性能的影响，结果显示ZrO_2掺杂有助于提高厚膜气体传感器对一氧化碳和乙醇的选择性，而且气体传感元件的厚膜工艺设备筒单，便于生产。...
10. 《Pd/SnO_2/SiO_2/Si集成薄膜的结构与气敏性能》PDF+DOC 采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响，进而测试了相关的气敏性能.实验证明，经过氧化性退火处理，集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm增长到50nm左右，形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构，SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶.气敏测......