《微系统─电子技术的又一里程碑》PDF+DOC

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2. 《决定未来竞争的关键技术——微系统技术》PDF+DOC 微系统技术是当今国际上能决定未来竞争的一种超智能崭新技术，自德国首次提出至今还不到8年。然而它都以自身卓绝的功能和飞快的发展速度向人们展示了强大的生命力和可能引发一场新科技革命的无限前景。作者从事微电子工作40多年，阅历丰富，洞察力敏锐。在此刊载他这篇文章，以利引起有关领导和科技界重视，更快赶上世界......
3. 《微系统及其商品化》PDF+DOC 讨论了微系统的命名法并把它扩至包括自然微系统。以物理法则是否变化为判据重新定义了微系统。阐明了微系统与微电子、宏系统、纳米系统三者的联系与区别。考察了国外微系统在领域医疗、信息、汽车工程、自动化、环境与安全、日常生活 6个领域的典型商品 ，分析了国际微系统商品化态势 ，找出了商品化中的技术制高点和突......
4. 《从集成电路迈向微系统》PDF+DOC 目前，集成电路技术已发展到可以将微电子、微光学、微机械结合起来。形成一种新的复杂的多功能微系统。微系统被人们称为传统工业的维生素。微系统产品社会需求量不断上升，并在消费电子、通讯设备、医疗器件、自动控制、仪器仪表等方面形成了巨大的潜在市场。正是技术进步和市场需求促使VLSI从集成电路技术逐渐向微系统......
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6. 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC 概述了微机电系统 ( MEMS)的定义和特征 ，从理论基础、技术基础和工程应用三方面 ，阐述了微机电系统的研究内容 ，简要介绍了 MEMS基础技术及 MEMS器件的研究现状...
7. 《多晶硅集成微系统:技术及应用》PDF+DOC 多晶硅微结构与CMOS电路制造工艺的结合能够制造出单片集成惯性传感器。LPCVD多晶硅的沉积、掺杂、退火同其机械特性，如残余应力、应力梯度、杨氏模量之间可以很好地建立其相关性。最近的工作表明为减少静摩擦力而进行的表面钝屯化能够减小多晶硅微结构在湿法刻蚀干燥过程或使用时由于机械振动而粘接在邻近表面或残......
8. 《真空微电子二极管及微位移传感器的研究》PDF+DOC 首次用电荷模拟法计算了真空微电子二极管及真空微电子微位移传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布，进而计算了真空微电子二极管的电流一电压特性和微位移传感器的电流——位移(即阴、阳极间距)的关系曲线。模拟了两种结构的场致发射阴极：圆锥形和劈形。并用测试精度可达4nm 的水槽法模拟实验对计算结果进行了验证......
9. 《BioMEMS和人体植入式生物微系统》PDF+DOC MEMS技术在医药科学技术的一个重要应用是植入人体内的生物微系统(BioMEMS)。该系统集微传感器、微驱动器、微流体系统、微光学系统及微机械元件于一体，用于体内器官的诊断、体内器官功能修复或替代，其治疗效果确切，已成为关系本世纪医学与人类健康进步的重要领域。本文介绍了近年来不同功能类别植入式Bio......
10. 《微系统进展与我院微系统发展战略思考》PDF+DOC 微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术制造，用以完成信息获取、处理及执行的功能。阐述了国内外微系统技术及其产业发展的历程、现状和趋势，比较分析了我院微系统技术发展现状。基于以上分析讨论，提出了我院微系统发展......