作者:方志杰 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1995年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ501.0140 DOC编号:DOCCGQJ501.0149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 用真空升华方法制作了TAA薄膜NO2气敏元件,并研究了其室温条件下的响应特性.结果表明:该元件在室温下对NO2具有较高的灵敏度,可检测空气中含1×10(-6)的NO2气体.该元件在1.7×10(-6)~17×10(-6)浓度范围内对NO2呈线性响应,响应时间在30s内,恢复时间为几分钟的数量级。

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