作者：袁智敏,张江陵,安康 单位：北京自动测试技术研究所 出版：《电子测试》1995年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDZC1995040060 DOC编号：DOCWDZC1995040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计》PDF+DOC1995年第02期 袁智敏,张江陵,李从信,陈莉 《磁盘机选道用的电子测速机》PDF+DOC1977年第07期 林兼 《船舶电气系统中的分散阀门定位方法》PDF+DOC2018年第10期 杨征,曹丽苹,陈媛媛 《小型磁盘驱动器伺服刻写装置研究》PDF+DOC1989年第03期 华诚,张江陵 《磁盘伺服定位机构及系统特性测试》PDF+DOC1984年第08期 徐文贤,赵铭谊 《基于时栅传感器的精密转台伺服控制系统设计》PDF+DOC2015年第11期 李宏伟,杨继森,江中伟,冉扬洁,李小雨 《基于无线传感网络的井下定位系统设计与实现》PDF+DOC2019年第03期 胡建宏 《基于激光雷达的大型移动平台定位》PDF+DOC2011年第01期 赵帅锋,顿向明,钱钧,沈超,张育林,陆晋荣,徐北辰 《基于网格线的自主机器人定位系统设计》PDF+DOC2010年第09期 胡小科,宋爱国,张小瑞,蒋朝根 《基于S7-200 PLC的位置控制器设计》PDF+DOC2010年第06期 王鹏

    • 本文从理论上对圆光栅的特性进行了分析及计算，设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构，并采用AMS—200A型人射光干涉显微镜构成磁盘两级定位器定位精度测量系统，通过计算磁头在寻道和定道两个过程的驱动指令运行时间的总和来得到磁盘的平均找道时间，最后通过实验得到磁盘两级定位系统在平均找道时间为24.5ms时的定位精度为0.19μm。

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