作者：谢国章 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》1994年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX403.0240 DOC编号：DOCZGJX403.0249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 概述微机械的加工技术包括微机机械工业加工所用材料、腐蚀加工、淀积加工，键合加工的现状；介绍微机械的应用领域及其对高新技术发展的影响；指出微传感器、微执行器、微机器人与微系统是微机械技术发展的主要方向。

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