作者：傅敏恭,龙定华,游幼,赵湛,邹子亚,杨连贵 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1993年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU1993020150 DOC编号：DOCDZXU1993020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文采用真空气相物理沉积技术，在平面叉指电极上沉积酞菁铜薄膜制成的气体传感器。该传感器对NO_2有很高的灵敏度和良好的选择性，能检测出空气中1ppm浓度的NO_2，响应时间几十秒、恢复时间几分钟。在320℃下进行退火处理，传感器的稳定性和重复性有明显的改善。

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