作者：何清义,黄友恕,吕果林,朱维安 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》1995年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG503.0110 DOC编号：DOCBDTG503.0119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 从自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＡ）的工作原理出发，提出采用外延、离子注入、推阱的技术，研究一种新颖的高响应度的ＰＩＮ结构的ＳＳＰＡ器件，详细的分析了工艺设计方案和实验方法，最后提供了样品的测试参数。

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