《单晶硅[112]晶间的弹性模量的激光测量》PDF+DOC
作者:石环英
单位:中南大学;中国铁道学会
出版:《铁道科学与工程学报》1994年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCSTD404.0160
DOC编号:DOCCSTD404.0169
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硅棒经切片工艺以制造P型硅力敏元件,经X射线劳厄法测定硅片受力方向是[112]晶向.本文报导了自制加力设备,用自制的测力传感器测受力大小,用激光迈克尔逊干涉法测量形变量大小,完成单晶硅片[112]晶向的弹性模量的测量.
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