作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1995年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1995090050 DOC编号：DOCGJDX1995090059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在微系统工程和半导体技术领域，产品结构越来越小，为了生产这些微小结构的制品，为了标定这方面的标准与检测仪器，对亚微米及纳米范围形状测量的精度，提出越来越严格的要求.本文介绍一种非线性小于0.05%的扫描仪，并对校准与验证非线性的方法和应用范围作了说明.利用扫描探针显微镜对表面扫描时，出现了不同类型的测量误差.其原因在于：环境的影响，如建筑物的振动、声的干扰、温度变化等，

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