《薄膜氧敏材料的特性研究》PDF+DOC
作者:李蓉萍,丁铁柱
单位:内蒙古大学
出版:《内蒙古大学学报(自然科学版)》1994年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNMGX405.0090
DOC编号:DOCNMGX405.0099
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用电子束蒸发的方法制备了ZrO_2、TiO_2及其按不同配比混合和掺杂的各种薄膜。对薄膜的结构和氧敏特性进行了研究,同时还研究了预烧结、掺杂等对薄膜氧敏特性的影响。实验表明,薄膜对氧气有良好的选择性和灵敏度
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