《CVDSnO_2薄膜吸附的XPS研究》PDF+DOC
作者:吴孙桃,沈 华,徐富春,蔡玉霜
单位:厦门大学
出版:《厦门大学学报(自然科学版)》1994年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDZK405.0080
DOC编号:DOCXDZK405.0089
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利用XPS方法,分析四种由不同CVD温度(250~550℃)淀积在n-Si衬底上形成异质结的SnO_2透明多晶薄膜的表面.定性和半定量分析表明,表面存在三种氧物种,在加热吸附H_2前后,相对含量发生变化,变化大小与制备温度有关.根据实验结果和分析,研究薄膜H_2吸附机理,讨论SnO_2薄膜的气敏与SnO_2/n-Si异质结光伏的关系以及制备温度对薄膜吸附反应性能的影响.
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