《多晶硅敏感技术(连载四)》PDF+DOC

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2. 《多晶硅薄膜压阻器件》PDF+DOC 利用半导体压阻效应的压力传感器，由于信息处理技术的进步，正面向高精度、高灵敏、高可靠、低成本发展。其主流是用单晶硅制造的扩散型压力传感器。但最近，使用不同的材料作衬底，通过SiO_2等做绝缘，在其上沉积多晶硅薄膜的SOI结构的压力传感器由于可望制低成本耐高温及抗腐蚀性强的压力传感器...
3. 《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC 介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式，包括压阻式、电容式、隧道式等，分析了这些传感器的基本特点，总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题，提出了一些解决关键问题的措施，并对目前两种新的微机理：共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。...
4. 《两维碰撞加速度传感器及其实用化》PDF+DOC 基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构，在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥，在500 g的量程下，灵敏度达到0.3 mV/g/5 V，固有频率15k Hz.传感器贴装在PCB板上，由经济实用的放大电路进行处理，......
5. 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计，通过理论分析计算与试验测试，得出该结构在0.1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的......
6. 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计一种四梁岛结构，通过理论分析与仿真计算，得出该结构在1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性，为此......
7. 《多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展》PDF+DOC 多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低，效率稳定性好、光电转换效率高，多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造，其用途从栅极材料和互联引线发展到绝缘隔离、钝化、太阳能电池、各种光电器件等。文章介绍了制备多晶硅薄膜的多种工艺方法，结......
8. 《方膜上横向压阻压力传感器的非线性研究》PDF+DOC 本文对方膜的硅压力传感器结构进行了应力非线性的计算分析，得出了应力-压力关系非线性与压力量程、膜的几何参数以及器件位置的关系，并给出了实现线性最佳化设计的结果.实验与理论结果的比较表明：(1)压阻效应非线性很小，压力传感器的非线性主要决定于应力非线性；(2)方膜边缘的四端力敏电阻设计不仅灵敏度高，而......
9. 《硅扩散型半导体传感器光刻掩模设计》PDF+DOC 本文从单晶硅材料的某些性质和压阻原理出发，对硅扩散型半导体压力传感器的光刻掩模版设计进行了较为全面地探讨，从而提出五种方案。文中还指明了某些使用条件下的最佳方案。...
10. 《碳纳米管膜的压阻效应》PDF+DOC 对碳纳米管(CNT)膜的压阻效应进行了研究.实验所用的碳纳米管用热灯丝气相沉积法(CVD)合成，压阻效应用3点弯曲法测量.研究发现：在室温下与500微应变时，碳纳米管膜的压阻因子至少是65，超过多晶硅(Si)在35℃时的压阻因子30.并且，碳纳米管膜的压阻因子随温度的升高而变大.还讨论了碳纳米管膜出......