《针阀体座面形位误差及表面粗糙度的精密测量》PDF+DOC
作者:王中宇,李柱,谢铁邦,赖予鄂
单位:华中科技大学
出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》1995年第09期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHZLG509.0220
DOC编号:DOCHZLG509.0229
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研制了针阀体座面(内圆锥面)形位误差及表面粗糙度的专用测量系统,该系统由直角弯头测杆、柱面全息衍射光栅位移传感器及气浮式精密回转工作台等构成,传感器的分辨率为0.005μm;整个测量系统的精度用标准半球进行校验,测得圆度误差仅为0.163μm。
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