作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1995年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1995040020 DOC编号：DOCGJDX1995040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 所谓微机械加工就是制作微机械或者微型装置的微细加工技术.要实现既小型又具有高功能的装置，虽然主要利用制造半导体集成电路的光刻技术，但也需要立体微细加工技术.在材料方面，主要使用能与电路融为一体的硅，也使用晶体之类的压电材料或者其它各种材料.图1(a)(b)(c)是光刻技术的原理.其具体内容是如图1(a)所示用光将掩模图形复制到一块板上，如(b)所示利用蚀刻进行的刻蚀加工，或如(c)所示电铸金属的附着加工。

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