作者： 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1995年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB502.0140 DOC编号：DOCZYQB502.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 质量流量控制器的原理和应用北京建中机器厂流量技术室质量流量控对器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制．它大量用于电子工艺设备中，如扩散、氧化、外延．ＣＶＤ等离子刻蚀，溅射等，以及镀膜设备，光导纤维制造设备中，并广泛用于石油化工，冶金、制药等行业..。

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