作者：于建宏,黄文浩 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1995年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM503.0000 DOC编号：DOCGXJM503.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了近十年来，各国科学家在研究扫描力显微镜的过程中所采用的各种超微力（１０￣（－８）～１０￣（－１０）Ｎ）传感器的探测方法。评述了各种方法的灵敏度，抗振性，使用范围，操作方式和各自的优缺点。并对最近出现的几种新的探测方法作了说明。

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