《微机电系统》PDF+DOC

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2. 《微机电系统(MEMS)技术的研究与应用》PDF+DOC 微机电系统是源于微电子加工技术 ，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小 ，学科交叉广泛 ；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面 ；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域 ，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电......
3. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
4. 《潜力巨大的微技术世界》PDF+DOC 20世纪80年代，在集成电路技术的基础上诞生了世界首套微机电和微流体系统。从那时起，微技术领域的发展可谓日新月异。如今，微技术已在环境条件极为复杂的油田领域得到广泛应用。...
5. 《CMOS图像传感器的新进展》PDF+DOC 互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器是金属氧化物半导体(MOS、电荷耦合器件CCD)、电荷注入器件(CID)、固体图像传感器问世之后的又一新型器件，最初是70年代在NASA的Jet PropulsionLaboratory(JPL)发明的，发明初期，由于受集成电路设计和工艺水平的限制，图像质量......
6. 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC 微机电系统是一个新兴的技术领域，是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号，并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号，而且还可以通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就ＭＥＭＳ技术的特点、分类、......
7. 《C~3I系统与雷达发展战略》PDF+DOC C~3I系统在未来现代战争中作用愈来愈重要。雷达作为提取信息的工具占有突出的地位。雷达在C~3I系统中如何施展是必须重视和解决的课题。本文综述了C~3I系统的重要性和必然性，阐明了雷达在C~3I系统中的作用。就我国目前C~3I系统中简单状况分析了雷达要发展存在着的许多问题。概括了国外C~3I发展和C......
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9. 《微机电系统的构成及其关键技术》PDF+DOC 微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一，是 21 世纪最有前途的产业之一。概述了微机电系统的定义与构成，讨论了微机电系统的一些关键技术，并对微机电系统的发展前景作了展望。...
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