作者：张九惠 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1995年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1995010110 DOC编号：DOCYBJS1995010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题，提出采用化学腐蚀技术，选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计，改善非线性误差获得成功。研制出量程≤10kPa，精度优于0.5％的微压元件。

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