作者：李旺旺,梁庭,张迪雅,张瑞,姚宗,贾平岗 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016060050 DOC编号：DOCYBJS2016060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度，对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析，完成了敏感芯片的制备和加压测试，测试结果表明：优化后的传感器输出灵敏度为5.98 m V/(V&#183；bar)，较原结构输出灵敏度提高了1倍，非线性误差小于0.096%。

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