作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1995年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1995120040 DOC编号：DOCGJDX1995120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 所谓微型机械指的是整个尺寸约为1mm，器件尺寸精度约为1μm的机械.它的尺寸约为普通机械尺寸的1/100，使用光学显微镜才能观察得到.利用微机械技术的机器人有如下两种，(1)使结构器件微小化、精密化以提高定位精度，或可以进行微细操作的机器人，(2)使机器人本身微小化的所谓微型机器人.本文叙述微型机器人的结构、功能及其研究应用例子。

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