作者:孔德义,余兵,梅涛,虞承端 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1995年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ504.0020 DOC编号:DOCCGQJ504.0029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《静电封接中的热应力研究》PDF+DOC1998年第02期 齐虹,田雷,王善慈 《DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究》PDF+DOC1997年第12期 刘沁,张春晓,吴雅翠 《静电封接在压力传感器生产中的应用》PDF+DOC1992年第12期 斌实 《静电封接技术概述》PDF+DOC1992年第02期 包振远,张文标 《静电封接技术在硅压阻传感器中的应用》PDF+DOC1986年第01期 乔景庄 《硅压力传感器的静电封接技术》PDF+DOC1985年第01期 陈东河 《硅微压力传感器结构的研究》PDF+DOC1995年第06期 王丽萍,张宾华 《硅压力传感器的新技术》PDF+DOC1995年第01期 冯景星 《一种简单的静电封接技术》PDF+DOC1989年第03期 陈志刚,林奇星,汪立椿 《半导体高温压力传感器的静电键合技术》PDF+DOC2002年第02期 张生才,赵毅强,刘艳艳,姚素英,张为,曲宏伟
  • 根据静电封接的机理,配制了一种低温玻璃作为封接材料,初步完成了常温下的静电封接实验。

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