作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1995年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1995120030 DOC编号：DOCGJDX1995120039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 不过分地说，当考虑制作微机械时，如果没有光刻等使用光的微机械加工技术，要实现微机械是不可能的.原来光技术与微机械、微机械加工有着不可分割的联系.近年来，利用光进行的微机械加工，不仅进行图形的缩小投影，而且很容易向微小部分供应加工能量，并且利用光化学反应进行的加工引人注目，这是因为即使容易损坏的灵活微小结构体也能用这种技术进行加工，因而这种技术适于制作具有微小机械器件的结构体.因此，要制造更为立体形状的微小机械结构，利用光的三维微细加工技术成为重要的关键技术。

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