《准分子激光的应用》PDF+DOC

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2. 《莫尔信号传感器光栅倾斜角度对精密定位准确度的影响》PDF+DOC 介绍利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法，给出激光莫尔信号传感器光栅设定角度误差时的莫尔信号位移特性，以此说明了光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位准确度。...
3. 《利用反射式衍射光栅进行瞬态应变测量》PDF+DOC 介绍了利用反射式衍射光栅进行瞬态应变测量的方法。在一维细长杆中 ，通过测量杆未端的绝对速度 ，就可以算出动态应变和应变灵敏度系数 K，文章对该方法进行了理论计算和实验结果分析 ，给出了结论和进一步研究方向。...
4. 《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC 分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。...
5. 《微机械加工的动向》PDF+DOC 所谓微机械加工就是制作微机械或者微型装置的微细加工技术.要实现既小型又具有高功能的装置，虽然主要利用制造半导体集成电路的光刻技术，但也需要立体微细加工技术.在材料方面，主要使用能与电路融为一体的硅，也使用晶体之类的压电材料或者其它各种材料.图1(a)(b)(c)是光刻技术的原理.其具体内容是如图1(......
6. 《纤维光柵作长度和角度的测量工具》PDF+DOC 光栅位移传感器的主要元件是光学尺，它乃是配置在一个平面上(薄膜)，或者在固定间距或函数间距的体积上对光学辐射起综合作用的这类元件的总和。根据光的入射波相互作用的情况，光学尺可根据条件分成四种主要类别：测量尺、测量线纹光栅，衍射光栅，以及以介质拉长体为基础的测量纤维光栅。...
7. 《新型实用光学应变传感器》PDF+DOC 本文介绍一种新型实用光学应变传感器，它利用一个高频衍射光栅和两个位敏探测器直接测量平面应变，可取代传统的电阻应变计。应变的测量与光栅刚体的运动无关，多次重复测量可改进应变灵敏度并消除由于激光与光栅的误准直而产生的残余应变误差。测量的应变以数字和图线的形式实时的直接显示在监测器上。应变灵敏度为1me，......
8. 《基于相位掩模技术的光纤布拉格光栅制作工艺研究》PDF+DOC 作为一种新型智能传感器件，光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating，简称FBG)在传感领域的应用越来越引起人们的重视。在光纤光栅制作方法中，相位模板法使光纤光栅的制作难度大大降低，其优异的稳定性使得工业化生产光纤光栅成为可能，要实现产业化生产，其制作工艺尤为重要。采用常规通信单模光纤G......
9. 《双衍射光栅位移传感器原理及应用》PDF+DOC 介绍了一种双衍射光栅位移传感器，给出了其基本结构，并从多普勒效应的角度分析了其工作原理，给出了双衍射光栅产生的干涉条纹的接收方式和相应的光电信号的处理方法。该传感器与精密位移工作台组合成的表面粗糙度测量系统，对粗糙度样板进行了实测，结果表明该传感器能满足表面粗糙度测量要求。...
10. 《基于扭曲光栅的曲率波前传感器》PDF+DOC 介绍了一种新型的基于扭曲衍射光栅的曲率波前传感器，对其原理进行了介绍并进行了数值模拟。其波前相位恢复已应用于光学度量，但这种传感器相位恢复算法尚未完全成熟，结合前人工作，对适用于这种传感器的相位恢复算法进行了比较分析。...