作者：俞鹰 单位：中国机械工程学会;北京机床研究所 出版：《制造技术与机床》1994年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZJYC403.0160 DOC编号：DOCZJYC403.0169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 超微技术是一种新工艺。本文主要介绍了该技术的具体内容。ＬＩＧＡ技术的特点及当前应用情况说明超微技术的实用价值及应用前景。

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