作者：王祖斌,汪锦春 单位：安徽省科学技术情报研究所 出版：《安徽科技》1995年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFAHKJ1995090060 DOC编号：DOCAHKJ1995090069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 早在40年代就出现了电容式长度测量装置，但发展起来难度很大。主要是由于检测微弱变化的电容量(0.001pF法数量级)常被外界噪声干扰所淹没，放大器必须有很高的输入阻抗。采用同轴电缆，或用电子管或晶体管放大都无济于事。CNOS元件的问世，才使电容传感器有了新的转机，人们开始由变间隙型电容传感器的研制转入变面积型传感器的研制。70年代以来，瑞士、美国、德国、日本及中国先后发布了用于检测位置、位移和长度的专利。

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