作者：蔡萍,沈生培 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》1994年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB403.0090 DOC编号：DOCJLXB403.0099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种新型的电容式位移测量系统，其测量范围为０～２５ｍｍ，线性度优于１／１０００，分辨率为０．１μｍ。文中详细分析了该系统的工作原理，特点及主要误差因素，给出了部分实验数据。

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