作者：张沈军,李婉莹,姚达,陶星 单位：东南大学 出版：《电子器件》1995年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ503.0050 DOC编号：DOCDZQJ503.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高分子功能材料在气体传感器中的应用》PDF+DOC1998年第09期 戴国瑞,王晓薇,马哲,南金 《传感器安装支架压形模设计》PDF+DOC2003年第12期 费文铮,张学亮 《二氧化锡薄膜:制备及在室温下气敏性质(英文)》PDF+DOC 郝沛沛,陈长龙,魏玉玲,穆晓慧

    • 针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法——等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）及溅射／蒸发生长的不同特点，分别采用了两种不同的剥离工艺方案，由此实现了与ＩＣ加工工艺兼容良好的ＳｎＯ＿２薄膜成形技术。

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