作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994040070 DOC编号：DOCGJDX1994040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在微型化技术的发展中，已在电子学领域获得成功，不断地制造出效率高而价格便宜的元件。由于微机械、微光学以及微生物学的出现，产生了许多虽然不具有电子学功能，但和电子工业中的芯片有同样作用的微型部件，如传感器、致动器。微型驱动机构、阀门，喷咀(图1)微型手术仪器以及测量物理、化学和生物过程的传感器元件，它们只是这些

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