作者：许德华,祝冰,梁癸容 单位：信息部电子46所;天津市电子学会 出版：《半导体杂志》1995年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTZ504.0070 DOC编号：DOCBDTZ504.0079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《薄淀积膜压阻系数π∥π⊥测量》PDF+DOC1995年第04期 许德华,祝冰 《压力传感器半导体薄膜电桥优化设计》PDF+DOC1995年第06期 许德华,祝冰 《电容式微机械超声传感器设计与仿真》PDF+DOC2017年第02期 王朝杰,王红亮,段培盛,陈一波,胡晓峰 《一种新型CO气敏双层薄膜材料》PDF+DOC2001年第05期 刘文利,俞琳,高建华,李蕾 《镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究》PDF+DOC2000年第09期 杜晓松,杨邦朝,伍隽,王卉 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第08期 杨保和,常明,杨晓萍,呈晓国 《铁电微型传感器和执行器制作技术》PDF+DOC1998年第05期 刘秦,林殷茵,张良莹,姚熹 《低成本、高容量的薄膜传感器元件》PDF+DOC1982年第01期 游学见 《阵列式薄膜锰铜传感器的研究》PDF+DOC2005年第04期 滕林,杨邦朝,杜晓松 《薄膜磁致伸缩系数计算机辅助测试系统的设计》PDF+DOC2005年第03期 蒋洪川,张文旭,张万里

    • 半导体薄膜已用于力敏传感器。薄膜自身的力敏参数的测量是很必要的。但迄今只能得到薄膜与其衬底基片结合一体的复合样品测量值，因为很难把薄膜完好剥离下来，剥下的薄膜又不易测量。本文提出新的算法和公式。在淀积薄膜之前和之后，两次作常规测量．就可算出纯膜自身的参数。

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