作者:谢国章 单位:东南大学出版社有限责任公司 出版:《机械设计与制造工程》1994年第03期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXZZ403.0060 DOC编号:DOCJXZZ403.0069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 微机电一体化谢国章(常州市劳动新村南85栋乙-301室邮编213001)一、概述六十年代初,随着微电子技术的迅速发展,电子系统出现了如下矛盾:与集成电路接口的机械装置、包括各种传感器和传动装置等,其体积较大,与微小得多的集成电路工作难以达到最佳配合,..。

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