作者：张鸿海,李文菊,周学夫,曹伟 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1995年第S1期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB5S1.0300 DOC编号：DOCYQXB5S1.0309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究》PDF+DOC1995年第01期 张鸿海,曹伟,师汉民,陈日曜,李文菊,周学夫 《基于纳米腔天线阵列的表面等离子体共振传感器的研究》PDF+DOC2015年第05期 雷菊华,杨宏 《MEMS推动压力传感器发展未来市场将达236亿美元》PDF+DOC2019年第06期 《典型位移传感器分类研究与时栅传感器特点分析》PDF+DOC2018年第10期 彭东林,付敏,陈锡侯,刘小康,汤其富,武亮 《基于微力传感的扫描近场声显微镜》PDF+DOC2000年第04期 王生,张鸿海,汪学方,徐龙 《用于纳米测量技术的精密压电扫描仪》PDF+DOC1995年第09期 大舟 《一种新型纳米光栅传感器的理论研究》PDF+DOC2006年第02期 马修水,费业泰,陈晓怀,赵静 《加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC2005年第09期 范秋涛,王铁玲 《纳米技术时代将加速到来》PDF+DOC2002年第09期 李建明 《基于光纤光栅的机器人多维力传感技术研究》PDF+DOC2014年第11期 蒋奇,宋金雪,高芳芳,李贻斌,荣学文,LIU Hong-bin

    • 本文介绍了具有宽测量范围（１４０&#215；１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜，它能对Φ１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果，如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。

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