作者:张霞 单位:南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版:《固体电子学研究与进展》2015年第06期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGTDZ2015060100 DOC编号:DOCGTDZ2015060109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 温度是影响微机械加速度计性能指标、限制其应用领域的关键因素之一。在简要介绍微机械加速度计发展现状及温度对其影响机理的基础上,对近年来在降低微机械加速度计温漂方面国内外研究机构所采取的主要研究方法进行了详细的阐述,为该研究领域的推进提供了参考。

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