《LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究》PDF+DOC
作者:赵善麒,徐宝琨,赵慕愚,彭作岩,才宏,邢建力
单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版:《Journal of Semiconductors》1994年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTX402.0120
DOC编号:DOCBDTX402.0129
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本文采用溶胶-凝胶技术制备LaPeO3纳米晶薄膜,并摸索出该薄膜的光刻方法,将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器,它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性.
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