作者：彭士元 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1994年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1994040020 DOC编号：DOCYQYB1994040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用SAW(声表面波)振荡器的气体传感器在国外为大家所熟知，而国人知之的并不太多。然而，以SH(切变水平)板型振荡器为基础的相应器件还没有引起人们更多的注意。尽管它们二者影响惯性负载效应是由于化学复盖层的吸附特性。SH(切变水平)板型延迟线振荡器被认为是更敏感的。几个结论有效地支持了这个主张。利用计算机仿真技术，两种类型传感器当它们活泼的化学层放入气体感生的物理变化的位置时，其特性可以进行计算和比较。仿真技术对两种材料(石英和复盖层)来说需要几个物理常数的知识。理论上的特性通过声波相速来表示，而对不同的石英晶体切口的计算是通过于扰的方法，包括基片和其复盖层的厚度、密度和硬度。在相同条件下使用，在特殊厚度范围内，发现SH板型器件较之SAW型器件更为敏感。

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