《专利文摘》PDF+DOC

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7. 《固态压阻传感器》PDF+DOC 一、引言所谓固态压阻传感器，即传感器的核心部分—传感元件，是一种扩散硅应变元件。该应变元件是采用集成电路的扩散工艺，把硼杂质掺入硅片而形成压敏电桥制成的。测量原理是利用压阻效应， 敏感元件受压时，电阻发生变化，输出电信号。早在1932年美国布利戈曼和阿朗就对晶体压阻效应发生兴趣，同年阿朗发表了铋单...
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