作者：朱赛云,侯尔志 单位：中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所 出版：《光学仪器》1995年第Z1期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXYQ1995Z10340 DOC编号：DOCGXYQ1995Z10349 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目前，在长度测量中，对分辨率的要求越来越高。这里介绍的一种线位移传感器具有较高的准确度和分辨率，其优点是采用了光学两细分。从LED发出的光经扫描板后主要衍射为-1，0，＋1级，这三束光遇到主光栅──反射相位光栅后，被衍射成＋1级和－1级。相位光栅移动一个周期时，其&#177；1级衍射光均发生了360&#176；相移，＋1级和－1教相移符号相反。这两束光经批描板上指示光栅时又一次衍射，同方向衍射光产生干涉，这三束干涉光经三个电池接收后，光强度转化为电信号，电信号的周期只有光栅周期的一半。

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