作者：萧敬勋,孙以材,杨庆新 单位：信息部电子46所;天津市电子学会 出版：《半导体杂志》1994年第01期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTZ401.0050 DOC编号：DOCBDTZ401.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压力传感器和优化设计》PDF+DOC1995年第01期 萧敬勋,杨庆新 《新型多晶硅压力传感器》PDF+DOC1997年第06期 毛赣如,姚素英,曲宏伟,李永生 《C型压力传感器结构偏差对传感器灵敏度的影响》PDF+DOC1996年第09期 丁艳萍,吴坚民,郑殿忠 《具有硬心的平膜式传感器的有限元设计》PDF+DOC1996年第02期 胡海萍,宋永龄 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC1988年第04期 沈桂芬,杨学昌,张久惠 《压阻式压力传感器零点输出研究》PDF+DOC2002年第07期 李晶晶,岳瑞峰,刘理天 《压阻式金刚石压力传感器的优化设计》PDF+DOC2002年第03期 莘海维,张志明,戴永斌,沈荷生 《香梨静压接触应力测量及损伤预测》PDF+DOC2013年第06期 吴杰,李凡,葛云,胡蓉 《低量程高精度应变式压力传感器研制》PDF+DOC2009年第04期 于炜,杨梅,湛华海 《硅压力传感器芯片设计分析与优化设计》PDF+DOC2006年第09期 赵艳平,丁建宁,杨继昌,王权,薛伟

    • 在微压传感器的研制中进行了计算机辅助设计．利用有限元方法建立硅膜的刚度矩阵，从而求解位移方程．得到了方形弹性膜上的应力分布，为力敏电阻设计了最佳位置，并预计了输出信号的大小和灵敏度，实现了优化设计。

    📙 相关资料

    1. 《压力传感器和优化设计》PDF+DOC 对压力传感器进行了优化设计．利用有限元法求解矩形弹性膜的位移方程之后，得到了膜上的应力分布．为力敏电阻找出了最佳位置，并指出了输出信号和灵敏度的大小．...
    2. 《新型多晶硅压力传感器》PDF+DOC 论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作．因而，传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点．利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算，实验结果与理论分析一致．...
    3. 《C型压力传感器结构偏差对传感器灵敏度的影响》PDF+DOC 本文通过有限元方法对C型压力传感器的应力分析，给出了传感器结构偏差对压力传感器的性能尤其是灵敏度的影响。...
    4. 《具有硬心的平膜式传感器的有限元设计》PDF+DOC 本文应用有限元方法计算了具有硬心的平膜式传感器的应力场和应变场，并对其进行了优化设计。...
    5. 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC 本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构，分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微量程力敏器件的灵敏度作了分析。最后较详细地讨论了微压传感器研制中的关键技术——各向异性腐蚀技术。...
    6. 《压阻式压力传感器零点输出研究》PDF+DOC 使用有限元方法 ，分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ，结果表明 ：由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ，即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ，传感器也可能存在零点输出。...
    7. 《压阻式金刚石压力传感器的优化设计》PDF+DOC 介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法。采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的应变分布情况。对设计时应当考虑的主要问题包括金刚石力敏电阻条的掺杂浓度 ，电桥的形式 ，电阻条在膜片上的分布以及电阻条的有效长度和形状等进行了讨论。利用模拟程序确定了力敏电阻条的最......
    8. 《香梨静压接触应力测量及损伤预测》PDF+DOC 为了实现香梨果实静压损伤面积的准确评估和预测，该文采用Prescale感压胶片对香梨不同静压水平下的接触应力分布进行测量分析和有限元模拟。研究结果表明，当香梨50～200N静压时，50N时香梨无肉眼可辨的损伤，感压胶片测量的峰值应力0.5～0.6MPa，其应力面积在香梨损伤面积中所占很小；感压胶片测......
    9. 《低量程高精度应变式压力传感器研制》PDF+DOC 为了提高低量程应变式压力传感器的精度，将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合，构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配，找到了最佳参数值，并制作实物加以验证，表明所选参数是适当的，使传感器的精度得到了大幅度提高，满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传......
    10. 《硅压力传感器芯片设计分析与优化设计》PDF+DOC 用弹性力学和板壳力学理论分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布，为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据；利用有限元分析方法和借助ANSYS仿真软件，对微型硅压阻式高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟，探讨了传感器方形应变膜简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响，得到了直观......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。