作者：胡绪洲 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》1995年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX501.0100 DOC编号：DOCBDTX501.0109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文研究一种用ＺｒＯ２，ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５和Ｐ２Ｏ５为原料的半导陶瓷湿度传感器．它的组分是用扫描电子显微镜，Ｘ射线衍射仪和Ｘ射线能谱仪进行分析．几种氧化物粉末在高温下烧结成由许多微小晶粒组成的多孔半导陶瓷．晶粒周围环绕着Ｎｂ（０．２）Ｚｒ（０．８）Ｏ（２．１），ＺｒＮｂ（１４）Ｏ（３２），ＺｒＰ２Ｏ７以及Ｎｂ（４４）Ｐ２Ｏ（１１５）复合物．这些固溶体能够降低晶粒之间的电阻．大气水分子的吸附和毛细凝聚进一步加强了传感器电导．

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