《光纤外差干涉位移传感器》PDF+DOC
作者:章恩耀,田芊,李建军,梁晋文,唐东雷,下河边明
单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所
出版:《计测技术》1994年第06期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHKJC1994060010
DOC编号:DOCHKJC1994060019
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非接触式光纤外差干涉位移传感器是将半导体激光器线性调频技术和光纤传感技术相结合制成的1种新型外差干涉仪。它的位移测量范围可达26mm,分辨率为0.02μm;对不同材料、不同粗糙度的对象面,有着几乎相同的测量灵敏度和测量精度;探头和对象面无需严格垂直。
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