作者：王海笑,朱长纯 单位：东南大学 出版：《电子器件》1994年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ403.0310 DOC编号：DOCDZQJ403.0319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《真空微电子二极管及微位移传感器的研究》PDF+DOC1993年第02期 朱长纯,王海笑,刘君华,关辉,李毓民 《新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作》PDF+DOC1997年第12期 夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付 《微型真空力敏器件的研究》PDF+DOC1994年第04期 朱长纯,王海笑 《真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2004年第06期 温志渝,温中泉,徐世六,刘玉奎,张正元,陈刚,杨国渝 《真空微电子加速度传感器结构的有限元分析》PDF+DOC2003年第Z1期 彭述成,温志渝,温中泉,潘银松,李霞 《新型半导体集成磁敏传感器的研究》PDF+DOC1996年第04期 毛赣如,姚素英,曲宏伟 《磁敏传感器位移特性试验分析》PDF+DOC1993年第12期 李东升,汤晓华,李瑞芬,王广杰 《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC2002年第01期 陈绍凤,夏善红 《真空微电子传感器研究及进展》PDF+DOC2001年第04期 夏善红 《一种新型真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2001年第02期 张正元,徐世六,温志渝,张正璠,黄尚廉

    • 本文介绍了真空微电子磁敏传感器的原理，并用计算机模拟了器件的内部电场分布，电子飞行轨迹等多数，证明了这是一种具有很高灵敏度的新型器件。

    📙 相关资料

    1. 《真空微电子二极管及微位移传感器的研究》PDF+DOC 首次用电荷模拟法计算了真空微电子二极管及真空微电子微位移传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布，进而计算了真空微电子二极管的电流一电压特性和微位移传感器的电流——位移(即阴、阳极间距)的关系曲线。模拟了两种结构的场致发射阴极：圆锥形和劈形。并用测试精度可达4nm 的水槽法模拟实验对计算结果进行了验证......
    2. 《新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作》PDF+DOC 本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势．本文绘出了计算机模拟结果，简述了台阶阵列阴极和阳板压力敏感膜的制作......
    3. 《微型真空力敏器件的研究》PDF+DOC 本文首次用电荷模拟法计算了真空微电子力敏传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布，同时计算了&lt；100&gt；晶向的方形硅薄膜受压形变与压力的关系，进而得出了这种传感器的电流-压力曲线.还做了水槽模拟电场分布的实验，理论与实验符合的很好。...
    4. 《真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC 提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算；针对过载保护的问题，在结构上设计了过载保护环，实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能。采用硅的干、湿法结合的腐蚀、氧化锐化和真空键合等工艺技术，成功地研制出传感器实验样品。对传感器实验样......
    5. 《真空微电子加速度传感器结构的有限元分析》PDF+DOC 论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ，应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ，拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。这些分析为此类加速度传感器的设计提供了理论依据...
    6. 《新型半导体集成磁敏传感器的研究》PDF+DOC 本文论述了一种新颖的集成磁敏传感器。它是以互补三漏MOS晶体管为磁敏器件，采用半导体集成电路技术，将放大电路，偏置电路与磁敏元件集成在同一芯片上。该传感器具有灵敏度高、功耗低和体积小等特点。本文详细地分析了传感器的磁敏原理和电路结构，并对传感器的磁敏特性进行了测量和讨论。实验结果基本符合理论设计。...
    7. 《磁敏传感器位移特性试验分析》PDF+DOC 利用本试验装置能方便地测出磁敏传感器的位移特性。当磁敏传感器结构、参数不同时，则可根据其测得的位移特性来评价和调试磁敏传感器，使其位移特性达到最佳值或要求的设计目的。...
    8. 《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ，在计算机模拟计算的基础上 ，对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ，得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ，发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ，电压 45V时发射电流可达到86mA ，平均每个硅尖为...
    9. 《真空微电子传感器研究及进展》PDF+DOC 介绍真空微电子传感器的研究和发展概况 ，着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展 ，并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点。...
    10. 《一种新型真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC 采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅 -硅键合技术 ，成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明 ，该传感器反向击穿电压达到 1 0 0 V；在加 3V正向电压时 ，其单个锥尖发射电流为...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。