《微机械电子学在传感器方面的应用》PDF+DOC
作者:崔承甲
单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版:《光机电信息》1995年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGJDX1995070030
DOC编号:DOCGJDX1995070039
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《产品·市场·信息》PDF+DOC1993年第03期 张慧军
《微机械电子学的现状》PDF+DOC1992年第01期 李栓庆
《单模塑料光导纤维》PDF+DOC2003年第01期 于建明,陶肖明
《微机械加速度计内部噪声影响的对比分析》PDF+DOC2012年第02期 张霞,闫社平
微机械和光器件集成的新的技术领域,叫做光微动力学.它的目的是利用光的非接触和遥控操作功能为微机械提供新的光传感器和光驱动机械.具体的有用光的热作用起振的微小振子,用光的直接力作用(光压)的微动控制技术等方案.传统的光(激光)是光通信、光存储、光信息处理、光计测等,主要是利用空间控制和时间控制的观点来应用.这里是以微领域为对象的,利用光具有的能量。
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