《微型多晶硅膜电容式压力传感器的研制》PDF+DOC
作者:朱静远,茅盘松
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1994年第02期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1994020110
DOC编号:DOCCGJS1994020119
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