《带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC 介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ，它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn，线性度为 10 -4 量级...
2. 《基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器》PDF+DOC 针对深沟槽内结构制作困难的问题，基于单晶硅各向异性腐蚀原理，推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式，通过工艺实验确定了单晶硅{311}面与{100}面的腐蚀速率比；采用适合于三明治微加速度传感器硅芯片制作的无掩模腐蚀成型工艺流程，实现了深沟槽内悬臂......
3. 《国外传感器技术的发展趋势》PDF+DOC 进入80年代以来，国外对传感器在信息社会中的作用有了新的认识和评价。美国认为80年代是传感器时代，日本把传感器技术列为80年代十大技术之首。苏联认为微电子技术向非电领域扩展，传感器是必不可少的。传感器技术已成为现代信息技术的重要支柱之一，传感器的性能决定整个信息技术的性能，其生产能...
4. 《新型集成压电式加速度传感器》PDF+DOC 带质量块的集成硅压电式加速度传感器是硅刻蚀加工与硅集成电路技术相结合的产物，它取得了近直流响应，灵敏度高等极佳的综合性能。重点介始了该传感器的结构和工艺，并简述了发展概况。...
5. 《高过载低量程测试传感器的选择比较》PDF+DOC 在动态测试领域传感器高过载低量程一直是未能彻底解决的问题。本文在简单论述MEMS传感器原理的基础上，比较了MEMS传感器和传统工艺的压电传感器的特点，并进行了两类传感器在高过载低量程测量中的应用比较，得到了MEMS传感器能够较好完成高过载低量程测量要求的结论。...
6. 《用微硅层析法制作的微型硅传感器》PDF+DOC 主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器，采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术，特厚光刻胶的匀胶曝光技术，微集成电镀技术。...
7. 《双E型加速度传感器硅芯片的优化设计》PDF+DOC 介绍了最新优化设计的双 E型加速度传感器硅芯片结构和工艺的实现。通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度 ，即可制得不同量程的双 E型敏感硅芯片和加速度传感器。...
8. 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC 介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理，分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。...
9. 《基于SU-8光刻胶光纤法布里-珀罗加速度传感器》PDF+DOC 基于SU-8光刻胶的高深宽比加工技术，设计了对加速度敏感的悬臂梁-质量块结构。理论推导了加速度与SU-8光刻胶悬臂梁-质量块结构的挠度、法布里-珀罗(F-P)腔的干涉光强之间的关系，得到了简化的计算公式，并讨论了传感器灵敏度和固有频率等主要影响因素。提出了一种新的“卍”形悬臂梁-质量块结构，分析和确......
10. 《变面积结构微机械电容式加速度传感器》PDF+DOC 文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构，由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下，质量块呈平行于衬底水平移动，引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化，可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应......