作者：于梅芳 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1995年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ504.0070 DOC编号：DOCCGQJ504.0079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新颖的与硅栅ＣＭＯＳ工艺相兼容的ＣＭＯＳ差动式流量传感器结构，文中对器件敏感机理和电路进行了分析，理论分析与实验结果相吻合。

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