《新型精密位移传感器用的CG200型SSPA器件》PDF+DOC
作者:吕果林,袁祥辉,陈小强
单位:中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
出版:《光电工程》1995年第03期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDGC503.0090
DOC编号:DOCGDGC503.0099
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介绍新型自扫描光栅精密位移传感器用的CG200型SSPA器件,它是一种专用固体图象传感器。文中叙述了其电路工作原理、结构特点和功能及光学增透膜的作用,给出了器件的主要性能指标。最后,简单介绍了CG200构成的自扫描光栅传感器的示意图。实验结果令人满意。
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