作者：吴英才 单位：广东海洋大学 出版：《广东海洋大学学报》1995年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSHDX502.0120 DOC编号：DOCSHDX502.0129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《铁液中Si及Al含量的快速测定》PDF+DOC1999年第02期 李光强,刘颖,梁连科,隋智通 《无机杂质对改善纳米BaTiO_3湿敏特性的作用》PDF+DOC1998年第02期 刘国范,王兢,刘雨微,徐宝琨 《Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用》PDF+DOC1987年第03期 骆如枋,严荣华,陆玉萍 《基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究》PDF+DOC2007年第12期 李隆玉,肖顺华,董永芬,冯春岳,姜卫粉,李新建

    • 用氩离子束镀膜法制备ＢａＴｉＯ３／Ｓｉ结构，并在４００～９００℃的温度下用氮气保护进行退火，用常规蒸铝技术制成Ａｌ／ＢａＴｉＯ３／Ｓｉ湿度传感器。用俄歇电子能谱分析ＢａＴｉＯ３膜的化学组分。采用高频电容—电压测试仪测定ＢａＴｉＯ３／Ｓｉ结构的固定电荷密度，分析固定电荷密度与退火的关系。结果表明：固定电荷密度达１０１１ｃｍ－２数量级。经９００℃、６０分钟退火后固定电荷密度下降至１９％到２０％。随着固定电荷密度的减少，湿度传感器的响应时间延长了６０％，而击穿电压提高了７倍。

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