作者：CherylAjluni,李志荣 单位：美国国际数据集团 出版：《电子产品世界》1995年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCS1995020110 DOC编号：DOCDZCS1995020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1994年，传感器取得了十分令人注目的进展，这一情况已在1994年IEDM的很多技术论文中反映出来.完全有理由相信，传感器的重要性将在未来的岁月中与日俱增，那么，电机工程师和设计师们在期待些什么呢?全世界参加IEDM会议的传感器研究人员认为，传感器的发展将会形成一股巨大的浪潮.例如，日本丰田研究开发中央实验室的研究人员正在研究新兴的硅微机械技术和用于汽车的传感器.论文6.1讨论了多晶硅牺牲层蚀刻技术的发展.这种蚀刻技术适用于互补金属氧化物半导体(CMOS)的工艺，具有许多显著的优点.例如，它可用氧化硅、氮化硅作

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