作者： 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1995年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1995040120 DOC编号：DOCYBJS1995040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出了一种灵敏度高、线性好，用于300Pa压力测量的压阻式微型压力传感器。为减小非线性，这种传感器采用了由4个弹性梁和一个刚性中心膜构成的膜片结构。本文讨论了该传感器的有限元仿真、制作工艺和传感器特性等问题。

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